SU8200配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号,可获得样品的形貌、粒径、分散性等相关信息,同时还可通过专用的背散射探头对金属、陶瓷样品的质厚衬度像进行进一步的表征分析,可用于纳米材料、金属材料、薄膜材料、半导体材料、陶瓷材料、生物组织形貌像的观察,同时还可对材料断口和失效模式进行分析;微区成分分析,通过对样品微区、亚微区成分进行分析定性、定量分析,可确定样品的组成 。
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