Thermo ESCALAB 250Xi 目前已成为从生物材料到半导体材料等许多技术领域先进材料开发的重要工具。XPS并行成像是选择最好横向分辨率的方法ESCALAB250Xi提供的成像空间分辨率优于3µm。根据测得的光电子动能可确定材料表面存在哪些元素，灵敏度(0.1at%)；根据某种能量的光 电子的强度确定元素在其表面的含量，误差20%左右；还可根据某元素光电子动能的位移可了解元素所处的化学状态。

粉末样品：干燥，研细，无挥发性，无腐蚀性，样品量≥20mg。

块体样品：干燥，表面平整无污染，尺寸长*宽*高小于5*5*2（mm）。XPS原位测试尺寸要求是5 *5 *1（mm）。

液体样品：高浓度≥0.5ml，需滴到硅片上制样，要保证样品易干，不含有难挥发的液体状物质。